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陳學東院士開講:IC光刻機的減振

武漢教育電視臺
原創(chuàng)
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視頻簡介: 芯片,相當于人的心臟,心臟不強,體量再大也不算強;而減振器是光刻機的“基石”,基礎(chǔ)不牢則地動山搖。陳院士甘坐冷板凳,肯下苦功夫,瞄準世界一流,實現(xiàn)IC光刻機減振的關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控,把這個技術(shù)的創(chuàng)新主動權(quán)、發(fā)展主動權(quán)牢牢掌握在我們自己手中。